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151-0537-00L 3 Credits BSC , MSC D-ITET , D-MAVT

Micromechanical Sensors and Actuators

Mikromechanische Sensoren und Aktoren

Lecturers & Examiners: Prof. Dr. Rudolf Alfred Buser, Dr. Stefan Blunier
VVZ CR n/a

Last Updated: 2026-02-05 15:24:08

Abstract

The Lecture gives an overview of the huge variety of micromechanical sensors and actuators. The fundamental issues of sensor-actuator-systems, the physical principles which are used and a lot of examples are explained.

Objective

Der Student soll am Ende eine Übersicht über die Möglichkeiten der mechanischen Festkörpersensoren haben und Konzepte für deren Design, Herstellung und Betrieb entwerfen können. Studenten der Ingenieurwissenschaften.

Content

Die Mikromechanik bietet die Möglichkeit, funktionelle Bauelemente in der Grössenordnung von Mikrometern für mechanische, optische, chemische etc. Anwendungen herzustellen. Die mechanischen Sensoren (für Druck, Kraft, Beschleunigung, Temperatur etc.) und Aktuatoren werden besprochen. Miteinbezogen sind die grundsätzlichen elektronischen Auswerteschaltungen sowie Integrationsmöglichkeiten. Im besonderen gliedert sich die Vorlesung wie folgt: Grundlagen der Mikrotechnologie, physikalische Prinzipien und Effekte zur Signalumwandung, mikromechanische Sensoren und Aktuatoren, die daraus hervorgehen, Mikrosystemtechnik.

Resources

Lecture Notes

ja

General Information

Language
German
Levels
BSC , MSC
Frequency
Yearly recurring

Examination

Type
session examination
Mode
oral 30 minutes

Course Components

Type Title Time & Place Hours
lecture Mikromechanische Sensoren und Aktoren
  • Thu 10:15-12:00 (ML J 37.1)
2 h weekly
exercise Mikromechanische Sensoren und Aktoren
  • Thu 12:15-13:00 (ML J 37.1)
1 h weekly

Offered In