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402-0316-00L 4 Credits DS D-MATH , D-PHYS
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Thin Films: Production, Characterization, and Applications II

Dünne Schichten: Herstellung, Charakterisierung und Anwendungen II

Lecturers & Examiners: PD Dr. Hans Zogg
VVZ CR n/a

Last Updated: 2026-02-05 15:19:04

Abstract

Structural characterization: RBS, surface analyses, optical methods, applications in electronic devices and sensors.homepage:www.tfp.ethz.ch

Objective

Physikalisches Verständnis und Kenntnis der wichtigsten Methoden des Gebietes. Speziell für experimentelle Physiker geeignet.

Content

Die Vorlesung vermittelt eine Übersicht über die grundlegenden Eigenschaften, Herstellung und Anwendungen von dünnen einkristallinen (epitaktischen), polikristallinen und amorphen Schichten auf diversen Substraten. Inhalt: - Vakuum, Verdampfung, Schichtkondensation, Abscheidung (Epitaxie) aus der Gas- oder flüssigen Phase, Verbindungshalbleiter, Heteroepitaxie, mechanischer Spannungszustand und Verset-zungsdynamik; - Strukturelle Analysemethoden: RBS (Ionenrückstreuung), Röntgen- und Elektronenbeugung, Mikroskopie, Oberflächenanalysen, optische Methoden; - Elektronische Bauteil- und Sensor-Anwendungen. vgl auch Homepage: www.tfp.ethz.ch

Resources

Lecture Notes

wird jeweils Kapitelweise verteilt

General Information

Language
German
Levels
DS
Frequency
Yearly recurring

Examination

Type
session examination
Mode
oral 20 minutes

Course Components

Type Title Time & Place Hours
lecture Dünne Schichten: Herstellung, Charakterisierung und Anwendungen II
  • Fri 08:45-10:30 (HPP G 7)
2 h weekly
exercise Dünne Schichten: Herstellung, Charakterisierung und Anwendungen II
oder nach Vereinbarung
  • Fri 10:45-11:30 (HPP G 7)
1 h weekly

Offered In